清洗是通過化學或(及)物理的方法將工件上的油污、銹跡、灰塵等去除干凈，確保工件獲得較好的涂層結合力和生產的順利進行。清洗是PVD涂層前必不可少的一道工序，也是PVD涂層生產中*重要的工藝，清洗出了問題，涂層生產不得不延遲、涂層過程可能中斷、或涂層結合力出現問題而導致客戶投訴和賠償，尤其是在涂層設備的技術能力不高的情況下，清洗出了問題，更容易發生上述風險。

清洗主要方法和步驟應包括：化學藥劑噴淋、化學藥劑浸泡與超聲波清洗、漂洗、烘干。

1)化學藥劑噴淋

      噴淋對于清洗來說非常有效，它能夠除掉工件上絕大部分油污及污染物。尤其對有孔工件來說，更加有效，噴淋到工件上的化學藥劑會流入孔中或化學藥劑被直接噴進孔中對孔內壁進行沖洗。所以清洗裝卡時，一定要讓工件都能被噴淋到。另外，如果噴淋到工件上的化學藥劑不能及時馬上流走，會阻礙新鮮的化學藥劑繼續清洗工件，且在后面的烘干步驟中也不易烘干，所以裝卡時，要保證流到工件上的藥劑能自然流走。

2)化學藥劑浸泡與超聲波清洗

      超聲波是一種頻率超出人類聽覺范圍20 kHz以上的聲波。超聲波的傳播要依靠彈性介質，其傳播時,使彈性介質中的粒子振蕩,并通過介質按超聲波的傳播方向傳遞能量,這種波可分為縱向波和橫向波。在固體內,兩者都可以傳送,而在氣體和液體內,只有縱向波可以傳送。超聲波能夠引起質點振動,質點振動的加速度與超聲頻率的平方成正比。因此,幾十千赫茲的超聲會產生極大的作用力,強超聲波在液體中傳播時,由于非線性作用,會產生聲空化。在空化氣泡突然閉合時發出的沖擊波可在其周圍產生上千個大氣壓力,對污層的直接反復沖擊,一方面破壞污物與清洗件表面的吸附,另一方面也會引起污物層的破壞而脫離清洗件表面并使它們分散到清洗液中。

      氣泡的振動也能對固體表面進行擦洗。氣泡還能“鉆入”裂縫中做振動,使污物脫落。對于有油脂性污物,由于超聲空化作用,兩種液體在界面迅速分散而乳化,當固體粒子被油污裹著而粘附在清洗件表面時,油被乳化,固體粒子即脫落。空化氣泡在振動過程中會使液體本身產生環流,即所謂聲流。他可使振動氣泡表面存在很高的速度梯度和粘滯應力,促使清洗件表面污物的破壞和脫落,超聲空化在固體和液體表面上所產生的高速微射流能夠除去或削弱邊界污層,腐蝕固體表面,增加攪拌作用,加速可溶性污物的溶解,強化化學清洗劑的清洗作用。此外,超聲振動在清洗液中引起質點很大的振動速度和加速度,亦使清洗件表面的污物受到頻繁而激烈的沖擊

      由于超聲波在傳遞過程中會產生低壓區和高壓區，并且氣穴現象只在低壓區發生。所以被清洗工件在超聲波中需要上下振動，使工件上的每個區域都經過低壓區以獲得“微型刷子”的清潔作用。超聲波在水中的傳遞速度為1500m/s，假設超聲渡的頻率為30000Hz，則所使用的超聲渡波長 λ=速度／頻率=1500／30000=0.05m=5cm。所以，如使用30000Hz的超聲波，工件的上下振動距離應不小于5厘米．對于其他頻率的超聲波．震動距離可以同理計算出來。在純粹的化學藥劑浸泡清洗中，清洗溶液首先溶解工件*表層的污染物，并逐漸向污染層內部滲透溶解，在這個過程中，在工件表層會逐漸形成一層溶解飽和層．這層飽和層將新鮮的化學清洗液與深層的污染物隔離，阻礙清洗液對深層污染物的繼續溶解，如果這層飽和層不能被破壞去掉，清潔就停止了。對于比較臟的工件，純粹的浸泡清洗方式很難將工件徹底清潔干凈。利用超聲波的“微型刷子”的作用就可以破壞掉表層的溶解飽和層，新的化學藥劑到達較深的污染層繼續溶解，超聲波接著繼續破壞掉新形成的溶解飽和層，如此循環，清潔不斷進行下去，直到工件被清潔干凈。

3)漂洗

      漂洗是為了將殘留在工件上的清洗液或其他臟物徹底清理干凈，使工件在烘干之前更加干凈。工件上的殘留物在烘干后將很難清理干凈。在工業領域中．通常使用去離子水來進行漂洗，用去離子水而不用自來水進行漂洗．可避免自來水中的雜質及污染物殘留在工件上。但是，去離子水的侵蝕性強，會對工件造成腐蝕。所以，必須在去離子水中加入一定量的防銹劑，才能用來漂洗工件．以防止工件在漂洗及烘干過程中被銹蝕。

4)烘干

文章來源：真空技術與設備網