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PECVD氣相沉積系統
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  • 三溫區PECVD石墨烯... 三溫區PECVD廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學實驗上
  • 熱陰極直流等離子體化學... 熱陰極直流等離子體化學氣相沉積設備(DCCVD)是在常規冷陰極輝光放電基礎上發展起來的,主要用于金剛石單晶或多晶膜的沉積...
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  • 單溫區旋轉PECVD石... 單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料,可以以額定的速率...
  • 卷對卷式PECVD 卷對卷式PECVD是等離子增強型化學氣相沉積設備(PECVD),并加裝了收放卷裝置。本設備可用于線材的連續化熱處理工藝中...
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  • 等離子增強型CVD系統 CY-PECVD50R-1200-Q是一款等離子增強型CVD系統。此系統由150W射頻電源、單溫區管式爐、3通道質子流量...

豫公網安備 41019702002438號

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