產(chǎn)品分類
- 磁控濺射鍍膜儀
- 熱蒸發(fā)鍍膜儀
- 高溫熔煉爐
- 等離子鍍膜儀
- 可編程勻膠機
- 涂布機
- 等離子清洗機
- 放電等離子燒結(jié)爐
- 靜電紡絲
- 金剛石切割機
- 快速退火爐
- 晶體生長爐
- 真空管式爐
- 旋轉(zhuǎn)管式爐
- PECVD氣相沉積系統(tǒng)
- 熱解噴涂
- 提拉涂膜機
- 二合一鍍膜儀
- 多弧離子鍍膜儀
- 電子束，激光鍍膜儀
- CVD氣相沉積系統(tǒng)
- 立式管式爐
- 1200管式爐
- 高溫真空爐
- 氧化鋯燒結(jié)爐
- 高溫箱式爐
- 箱式氣氛爐
- 高溫高壓爐
- 石墨烯制備
- 區(qū)域提純爐
- 微波燒結(jié)爐
- 粉末壓片機
- 真空手套箱
- 真空熱壓機
- 培育鉆石
- 二硫化鉬制備
- 高性能真空泵
- 質(zhì)量流量計
- 真空法蘭
- 混料機設(shè)備
- UV光固機
- 注射泵
- 氣體分析儀
- 電池制備
- 超硬刀具焊接爐
- 環(huán)境模擬試驗設(shè)備
- 實驗室產(chǎn)品配件
- 實驗室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
文章詳情
快速退火爐的應(yīng)用及硬件更換
日期：2025-07-01 23:45
瀏覽次數(shù)：732
摘要：
快速退火爐廣泛應(yīng)用在IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導(dǎo)體和功率器件等多種芯片產(chǎn)品的生產(chǎn)，和歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物生長、消除應(yīng)力和致密化等工藝當中，通過快速熱處理以改善晶體結(jié)構(gòu)和光電性能，技術(shù)指標高、工藝復(fù)雜、專用性強。
硬件更換：
1.加熱燈管更換：加熱燈管超過使用壽命或無法點亮時需進行更換。加熱燈管的使用壽命為3000小時，高溫狀態(tài)下會降低其使用壽命。
2.真空泵油更換：在使用過程中，請每季度固定觀察1次真空油表，當油表顯示油量低于1/3時請?zhí)砑诱婵毡脻櫥偷接捅硪话胍陨稀?br>
3.熱電偶更換：當熱電偶測溫不正常或者損壞時需進行更換。熱電偶的正常使用壽命為3個月，隨環(huán)境因素降低其壽命。
4.O型圈的更換：O型圈表面有明顯破損或者無法氣密時需進行更換，其壽命受外力以及溫度因素影響。
尊敬的客戶：
您好，我司是一支技術(shù)力量雄厚的開發(fā)群體，為廣大用戶提供完整的解決方案和技術(shù)服務(wù)。主要產(chǎn)品有氧化鋯燒結(jié)爐、石墨烯制備設(shè)備、等離子清洗機等。本企業(yè)堅持以誠信立業(yè)、以品質(zhì)守業(yè)、以進取興業(yè)的宗旨，以更堅定的步伐不斷攀登新的高峰，為民族自動化行業(yè)作出貢獻，歡迎新老顧客放心選購自己心儀的產(chǎn)品。我們將竭誠為您服務(wù)！
