產品名稱：耐腐蝕柜式勻膠機

CY-S-PC柜式勻膠機產品特點：

1. 耐腐蝕PP全柜式獨立勻膠臺

2.勻膠機底部帶廢膠收集，頂部帶抽風功能

3.可升級自動點膠功能，適合工業化生產

4.集成觸摸屏控制，上下移動式透明觀察窗

5.使用伺服電機系統，性能穩定，滿足工業要求

CY-S-PC柜式勻膠機產品參數：

1.旋涂程序：至多存100組程序，每組100步，每個步驟可**到0.1秒

2.轉動速度：0-5000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm

3.旋涂加速度：0-10000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s

4.馬達旋涂轉速穩定性能誤差：< ±1rpm

5.轉速調節精度和重復性：1rpm

6.工藝時間設定： 0-3000 sec/step，時間設置精度：0.1sec

7.支持晶圓尺寸25px-300mm（12“圓晶）

8.旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）

9..可配備多路自動點膠功能，點膠流速0.006-990ml/min可調

10.標配三種規格真空載物盤，其它尺寸可定制設計

11.可配備多路自動點膠功能，點膠流速0.006-990ml/min可調

12.標配三種規格真空載物盤，其它尺寸可定制設計

13.外型尺寸：1200mm(W)*800mm(D)*2300mm(H)

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