產品名稱：1200℃三溫區三通道混氣CVD系統

1200℃三溫區三通道混氣CVD系統采用全彩高清觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。系統所配有的三路浮子流量計，可以較為準確的配制出實驗所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監測氣體壓力及混合槽壓力。

適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

1200℃三溫區三通道混氣CVD系統技術參數：

項目	明細
供電電壓	AC220V，50Hz
MAX功率	5KW
加熱溫區	220mm+440mm+220mm
工作溫度	1100℃ （1200℃＜1h）
控溫精度	±1℃
升溫速率	建議≤10℃/min
控溫方式	AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 三溫區獨立控制，帶有過熱和斷偶保護
爐管材質	高純石英
爐管尺寸	φ60mm O.D×1300mm L
氣體通道	三通道質量流量計
氣體量程	A：100sccm   B：300sccm  C：500sccm
系統真空	5~10Pa（如需更高真空度可以選配其他的泵）

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