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產品詳情
簡單介紹：
凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等，例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時，可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠；
是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備?。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺，可分別獨立工作，也可兩臺同時工作。
詳情介紹：
設備特點：
1、帶有100級空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵，防止
勻膠過程中的雜質污染。
2、 設置有LED照明燈，可程控照明，非常方便日常操作。
3、可設置時間--轉速曲線，程序控制勻膠工藝
4、7英寸液晶顯示屏，操作簡單易學無需專業(yè)學習
主要技術參數：
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勻膠時間 |
1-99秒 |
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勻膠轉數 |
0-8000轉/分 |
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操作區(qū)風速 |
0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài)：垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 |
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凈化效果 |
100級（美國聯邦標準） |
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外形尺寸 |
650x750x1620mm |
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外體顏色 |
亞白色 |
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控制范圍和精度 |
轉速控制范圍為：500-8000轉，精度為±3% |
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時間控制范圍為 |
1-99秒，精度為±5% |
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轉速調整 |
采用PID調節(jié)，精度高 |
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轉速查看智能化 |
可自動識別哪個電機開或關，自動轉換到開啟的電機上。可予先選定，也可在運行中隨時查看任一電機的轉速 |
