產品名稱：R-PECVD?真空旋轉等離子增強CVD設備

單溫區管式爐

產品型號

CY-OTF-1200X-I-PEC4

爐管材質

高純石英

爐管直徑

100mm

爐管長度

1500mm

爐膛長度

440mm

加熱區長

400mm

恒溫區長

200mm

工作溫度

0～1100℃

控溫精度

±1℃

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

高清全彩LCD觸控屏

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

供電電源

AC:220V 50/60Hz

RF輸出系統

功率范圍

0~500W可調

工作頻率

13.56MHz+0.005%

工作模式

連續輸出

匹配阻抗模式

能夠匹配，起輝均勻布滿爐管

功率穩定度

≤2W

正常工作反射功率

≤3W

放大反射功率

≤70W

諧波分量

≤-50dBc

整機效率

≥70%

功率因素

≥90%

供電電壓/頻率

單相交流（187V~153V） 頻率50/60Hz

控制模式

內控/PLC 模擬量/RS232/485通訊

電源保護設置

DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護

冷卻方式

強制風冷

起輝長度

在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿爐管

供氣系統

流量計

四路質子流量計

流量范圍

MFC1量程：0~200sccm  MFC2量程：0~200sccm

MFC3量程：0~500sccm  MFC4量程：0~500sccm

分別對應氣體H2、 CH4、 N2、 Ar.

測量精度

±1.5%F.S

重復精度

±0.2%FS

線性精度

±1%F.S.

響應時間

≤4s

工作壓力

-0.15Mpa~0.15Mpa

流量控制

液晶觸摸屏控制，數字顯示，每路氣體含有針閥單獨控制

進氣接口

可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

出氣接口

可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

連接方式

雙卡套接頭

工作溫度

5~45℃

氣體預混

配氣體預混裝置

排氣系統

產品型號

CY-GZK103-A

分子泵

渦輪分子泵

前級泵

雙級旋片泵

抽氣速率

分子泵：600L/S

綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達：5×10E-3Pa

旋片泵：1.1L/S

極限真空

5×10E-4Pa

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

真空測量

復合真空計

旋轉及傾斜裝置

轉速范圍

0-20rpm

傾斜角度

0-15°

進出料

自動進料，傾斜后可自動集料