設(shè)備名稱

派瑞林真空氣相沉積設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào)

CY-VPC-300

工作環(huán)境

電源：380V    五線 4 平方以上電纜，*大功率 l0KW

環(huán)境溫度：0-40℃

環(huán)境濕度：＜90%

尺寸

外觀尺寸 1580*880*1550mm，占地面積約 1.5 平米， 安裝時(shí)周圍要留有50cm 以上的操作空間

加熱部分

升華區(qū)

原料倉(cāng)：φ69*200mm          容量:300g

蒸發(fā)溫度：室溫 200℃

溫度偏差:±2℃

裂解區(qū)

裂解溫度:650-700℃ 溫度穩(wěn)定性: ±2℃

保溫區(qū)

加熱溫度＜300℃

控制系統(tǒng)

品牌

PLC 控制系統(tǒng)

程序

為自動(dòng)沉積系統(tǒng)和手動(dòng)沉積系統(tǒng)兩部分

顯示

顯示屏尺寸:12 寸觸摸彩屏

沉積系統(tǒng)

真空應(yīng)體

1 個(gè)，尺寸φ300xH400  ,  304 不銹鋼

腔體容積

28L

觀察窗

1 個(gè)觀察窗口，便于觀察產(chǎn)品在沉積室的狀態(tài)

旋轉(zhuǎn)部分

馬達(dá)轉(zhuǎn)速可調(diào) 1-10 轉(zhuǎn)／分

真空系統(tǒng)

真空泵

真空計(jì)

制冷系統(tǒng)

天寒TH-95-15-G(鍋式)，制冷溫度≤90℃制冷啟動(dòng)后30分鐘內(nèi)可從室溫到-70℃

偶聯(lián)劑蒸發(fā)裝置

提高派瑞林涂層與需要做涂層基材表面的結(jié)合力

設(shè)備主要部件

1、蒸發(fā)系統(tǒng)： 蒸發(fā)艙、電力n熱裝置、溫度傳感器

2、裂解系統(tǒng)：裂解艙 、電力日熱裝置、溫度傳感器

3、沉積系統(tǒng)：沉積艙 、真空傳感器 、樣品架

4、真空系統(tǒng)： 真空泵、真空計(jì)

5、冷凝系統(tǒng)：鍋式冷阱

6、設(shè)備主機(jī)：設(shè)備外殼、控制電路、真空管道

7、石英管：   1根

可沉積原料類型

Parylene C、N、F、D

設(shè)備特點(diǎn)

1、氣化加熱可移動(dòng)，適合連續(xù)生產(chǎn)，如出現(xiàn)突然停電等意外情況可以隨時(shí)移掉加熱，保證產(chǎn)品**．

2、氣化部分部分為透明玻璃管，可以隨時(shí)查看料的情況，并可以保持低溫生產(chǎn)，滿足高要求鍍膜．

3、氣化可以移動(dòng)，是派坷**設(shè)置，可以保證無(wú)**沖突，生產(chǎn)**。

4、腔體內(nèi)部轉(zhuǎn)架特殊設(shè)計(jì)可以有效減少壞點(diǎn)的數(shù)量．

5、可視化、人性化界面，操作簡(jiǎn)單易懂．

6、玻璃管，可以大大降低升溫降溫時(shí)間．

7、保溫部分做優(yōu)化，使得派瑞林不易在玻璃管內(nèi)壁沉積，可以長(zhǎng)期不用保養(yǎng)，減少保養(yǎng)時(shí)間