真空噴霧熱解涂膜機(jī)包含一個(gè)軟件，用于噴頭移動(dòng)和分配速率的自動(dòng)化。 由步進(jìn)電機(jī)控制的正排量泵用于根據(jù)需要分配溶液。 噴頭在基板上噴射精細(xì)的霧化溶液，其運(yùn)動(dòng)由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的線性平臺在X和Y方向控制，以確保均勻涂層。 可以通過改變噴嘴處的壓縮氣體壓力來調(diào)節(jié)噴霧模式和速度。

       噴霧熱解是通過在加熱的表面上噴射溶液來沉積薄膜的過程，其中組分反應(yīng)形成化合物。該方法對于氧化物的沉積特別有用，并且長期以來一直是將氧化錫（SnO₂）或氧化錫的透明導(dǎo)電體施加到玻璃基板上的制造方法。現(xiàn)在，這種技術(shù)越來越多地用于制備鈣鈦礦薄膜，例如鈣鈦礦太陽能電池。

真空噴霧熱解涂膜機(jī)技術(shù)參數(shù)：

項(xiàng)目	明細(xì)
供電電壓	AC220V，50Hz
噴涂室	690mm X 690mm X 790mm
霧化頭	高壓空氣霧化噴頭X 3 每個(gè)噴頭均配有高壓氣體驅(qū)動(dòng)擋板，防止滴落
壓力調(diào)節(jié)器	可調(diào)節(jié)壓縮空氣進(jìn)氣
*大功率	3.5KW （含壓縮機(jī)+蠕動(dòng)泵約0.5KW）
液體粘度	1-50mPa·s（cP）
噴頭行程	X-Y軸 *大180mm
移動(dòng)速度	0-250mm/s （x軸方向）  0-250mm/s（Y軸方向）
加熱襯底基板	200mm X 200mm
*高溫度	500℃
控溫方式	AI-PID 控溫
滴涂罐容量	50mL/250mL/50mL
蠕動(dòng)泵分液速率	0.006-41mL/min
真空泵	雙極旋片真空泵
真空計(jì)	機(jī)械式真空計(jì)
極限真空度	≤5000Pa
操控方式	工控電腦+儀器面板
整機(jī)尺寸	900mm X 900mm X 1750mm

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