噴霧熱解制膜法，是將溶液霧化后噴涂到加熱的基座上，然后在基底上得到想要的物質結構。本設備是由我公司自主研發的一款超聲噴霧熱解設備，它配有40KHz 130W的超聲波霧化器、PID控溫的加熱襯底基板、高精度蠕動泵以及精密程控的步進電機移動機構。本設備通過整合設計能夠準確控制溶液出液量、霧粒的噴出速度和霧粒大小等參數，同時基底溫度也可以進行控制，能夠滿足您的各種試驗需求。

此種材料制備方法特別適用于沉積氧化物，而且在制備透明電極的應用中已有相當長的歷史。現在這種方法在制備鈣鈦礦型太陽能電池中得到廣泛的應用。

超聲波熱解噴涂機技術參數：

項目	明細
供電電壓	AC220V，50Hz
Max 功率	3.5KW （含壓縮機+注射泵）
超聲波霧化器	50KHz 30W
液體粘度	1-50mPa·s（cP）
噴頭行程	X：260， Y：260，Z：100
移動速度	0.1-80mm/s （x軸方向）  0.10-80mm/s（Y軸方向）
加熱襯底基板	150mm × 150mm
Max 溫度	500℃
控溫方式	AI-PID 控溫
滴涂罐容量	注液器：60ML-250ML
注射泵分液速率	0.006-41mL/min
操控方式	工控電腦+儀器面板
整機尺寸	800mm×550mm× 1100mm

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