產(chǎn)品名稱：膜厚監(jiān)控儀

一、技術(shù)特點(diǎn)：

1.全觸摸屏操作顯示，簡(jiǎn)單易用；

2.二組繼電器輸出，到達(dá)設(shè)置厚度自動(dòng)關(guān)閉擋板/蒸發(fā)源；

3.實(shí)時(shí)顯示速率、厚度、鍍膜曲線和鍍膜時(shí)間；

4.提供RS232/RS485接口。

二．應(yīng)用范圍：

適用于電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測(cè)量，通過觸摸屏和數(shù)碼管顯示，使您能獲取完整的沉積數(shù)據(jù)。

采用了更先進(jìn)的軟件和硬件設(shè)備，進(jìn)一步提高了儀器抗干擾能力。   

三、主要參數(shù)：

CY-FTM107-A監(jiān)控儀
晶振頻率	6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體)
顯示方式	5”彩色觸屏+數(shù)碼管顯示速率和實(shí)厚
操作方式	觸摸屏
厚度顯示范圍	0-99μ9999?
厚度實(shí)際分辨率	0.1?（鋁）
厚度顯示分辨率	1?
速率范圍	0-999.9?
速率顯示分辨率	0.1?/s
鍍膜層數(shù)	99層
探頭輸入	4路（任選一路工作）
工具因子	0.01-99.99
材料存儲(chǔ)	257+自定義10種
通 訊	RS232/RS485
擋板/源控制	2組觸點(diǎn)，到達(dá)厚度關(guān)擋板/蒸發(fā)源
鍍膜顯示	速率曲線/數(shù)值
鍍膜巡回次數(shù)	0-99
機(jī)箱尺寸	480×250×89mm(2U 19”機(jī)箱)

四．特殊功能：

（1）具有人工停止鍍膜功能  

（2）可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比

（3）顯示鍍膜結(jié)束后的監(jiān)測(cè)實(shí)厚、材料和層次