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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:薄膜膜厚監(jiān)測(cè)儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MT
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
本膜厚監(jiān)控儀適用于真空電阻熱蒸發(fā)、磁控濺射等鍍膜厚度測(cè)量,到達(dá)設(shè)置厚度自動(dòng)關(guān)閉擋板;通過液晶顯示使您能連續(xù)獲取完整的沉積數(shù)據(jù),包括速率、厚度和晶體振蕩頻率. 1、本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。 2、顯示儀具有界面簡(jiǎn)潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn),可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。 3、通過軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置,并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。 4、具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)
詳情介紹:

產(chǎn)品名稱

膜厚監(jiān)測(cè)儀

主要特點(diǎn)

1、本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。

2顯示儀具有界面簡(jiǎn)潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn),可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。

3、通過軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置,并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。

4、具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)參數(shù)

監(jiān)測(cè)組件

1、電源:DC  5V±10%),*大電流400mA

2、頻率分辨率:±0.03Hz

3、膜厚分辨率:0.0136?

4、膜厚準(zhǔn)確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應(yīng)力,溫度和密度

5、測(cè)量速度:100ms-1s/可設(shè)置

6、測(cè)量范圍:500000?

7、標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體:6MHz

8、計(jì)算機(jī)接口:RS-232/485串行接口波特率1200240048009600、1920038400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位8,停止位1,校驗(yàn)

9、模擬輸出:8比特分辨率PWM脈寬調(diào)制輸出(集電極開路或內(nèi)部5V輸出)

10、工作環(huán)境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

 

顯示儀

1、輸入電源:AC 220V±10%

2、輸出電源:DC  5V  3A

3、顯示器:12×2數(shù)碼管與LED

4、通訊端口:RS-485波特率1200、2400、4800、96001920038400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位8位,停止位1位,奇偶校驗(yàn)

5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

 

CY-TM106-3探頭

1、適用晶片頻率:6MHz

2、適用晶片尺寸:?14mm

3、安裝法蘭:CF35

4、冷卻水管:?3mm,長(zhǎng)度300mm、500mm、1000mm

5、冷卻水壓:<0.3MPa

6、氣動(dòng)擋板路管:?3mm

7、壓縮空氣壓力:<0.8MPa>0.5MPa

8、烘烤溫度:通水狀態(tài)<200℃,不通水狀態(tài)法蘭<100

9、電氣接口:BCN插座

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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