產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-OE
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀采用直線式結(jié)構(gòu),主要由二個(gè)有機(jī)材料生長室組成,兩個(gè)有機(jī)材料生長室之間通過閘板閥聯(lián)接,其中一個(gè)生長室系統(tǒng)預(yù)留與手套箱對接接口,能夠完成二套獨(dú)立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀的有機(jī)材料生長室主要由真空室腔體組件、有機(jī)蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺(tái)、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。
詳情介紹:

有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀設(shè)備用途:

有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀用于生長薄膜太陽能電池,EL OEL分子有機(jī)電致發(fā)光器件薄膜的研究工作。廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研與小批量制備。

有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

真空室

二個(gè)D型真空室,尺寸均約為?450×H750mm;

兩個(gè)真空室的真空系統(tǒng)配置、極限壓力、恢復(fù)真空時(shí)間、熱阻蒸發(fā)舟及電源、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置、樣品臺(tái)的配置與技術(shù)參數(shù)指標(biāo)相同;

真空系統(tǒng)配置

日本進(jìn)口低溫泵、無油渦旋干泵與電磁、復(fù)合數(shù)顯真空測量規(guī)與計(jì)、閥門等。

極限壓力

≤2.0×10-5Pa

恢復(fù)真空時(shí)間

40分鐘可達(dá)到1×10-4Pa

電動(dòng)磁力耦合樣品傳遞裝置

真空室1

采用磁力耦合line motion傳遞裝置,采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),設(shè)有遠(yuǎn)程手控控制盒,可控制直線前進(jìn)后退。

有機(jī)蒸發(fā)源及電源

真空室1

新型0EL升華型蒸發(fā)源9支,每支蒸料可裝10CC,室溫-800℃7支,室溫-1000℃2支;蒸發(fā)源電源4臺(tái)。

真空室2

新型0EL升華型蒸發(fā)源6支,每支蒸料可裝10CC,室溫-800℃6支;蒸發(fā)源電源3臺(tái)。

熱阻蒸發(fā)舟及電源

新型蒸發(fā)舟2組(熱阻蒸發(fā)舟);

數(shù)字式熱阻蒸發(fā)電源1臺(tái),帶有細(xì)調(diào)功能(0.1安培);鍍鋁專用盒式蒸發(fā)舟:2個(gè);

普通金屬蒸發(fā)舟10個(gè);蒸發(fā)源擋板2套;

膜厚監(jiān)測儀

厚度分辨率

不平均:0.0133埃/測量;50個(gè)樣品平均:0.002埃/測量

速率分辨率

不平均:0.0133埃/秒;50個(gè)樣品平均:0.02埃/秒

精度

0.03HZ/測量,2ppm

速度

每秒測量十次

真空室照明裝置

采用LED外照明方式.避免鍍膜污染照明燈

烘烤裝置

在真空室外烘烤帶的烘烤方式

樣品臺(tái)

樣品尺寸

可放置一塊100×100mm或者50×50mm基片

運(yùn)動(dòng)方式

可電動(dòng)上下升降,可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速為0-30轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速可調(diào)

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