產品詳情
  • 產品名稱:桌面型雙源蒸發鍍膜儀

  • 產品型號:CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
本產品為桌面型小型雙源蒸發鍍膜儀,設備安裝有兩套蒸發源,各蒸發源分別供電,可交替開啟也可同時開啟;每個蒸發源可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍
詳情介紹:

本產品為桌面型小型雙源蒸發鍍膜儀,設備安裝有兩套蒸發源,各蒸發源分別供電,可交替開啟也可同時開啟;每個蒸發源可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍,因此被廣泛用于電極的制備和有機物發光LED的制備。真空腔體采用不不銹鋼制作,配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空,能夠滿足絕大部分材料蒸發所需的真空環境。兩組蒸發源對稱放置,每個蒸發源均具有單獨的擋板,可保證鍍膜過程中不被污染。

小型雙源蒸發鍍膜技術參數:

產品名稱

桌面型雙源蒸發鍍膜儀

產品型號

CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS

樣品臺

外形尺寸

直徑φ60mm

轉速

≦20rpm

至蒸發源間距

60~100mm 連續可調

蒸發源

配 2 個鎢舟、2個鎢絲籃

蒸發電源

2個,每個蒸發源均配擋板

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ170mm,高度210mm

觀察窗口

直徑φ60mm

腔體材

304不銹鋼

開啟方式

上開啟式

膜厚測量

膜厚測量儀(可選膜厚控制儀)

真空系統

前級泵

雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

次級泵

渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

真空測量

復合真空(電離規+電阻規)

系統真空

5×10-4Pa

控制系統

CYKY自研專業級控制器

其他參數

供電電

AC220V,50Hz

整機尺寸

600mm×600mm×750mm

整機功率

1200W

整機重量

40kg


豫公網安備 41019702002438號

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