產品詳情
  • 產品名稱:手套箱用小型蒸發鍍膜儀

  • 產品型號:CY-EVZ180-I-H-Q
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
本小型蒸發鍍膜儀可進行真空蒸鍍,鍍膜電流*大可達100A,本型號的小型蒸發鍍膜儀應用范圍廣,可制備各種金屬薄膜和部分非金屬薄膜,因此被廣泛用于電極的制備和有機物發光LED的制備。儀器體積小巧,經過小型化設計,可有效節約實驗室空間,專為手套箱內使用設計;操作簡單,對不同材料的適應性強,十分適合實驗室選購。
詳情介紹:

本產品為手套箱專用型小型蒸發鍍膜儀,可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1700℃,能夠滿足常見金屬及部分非金屬的蒸鍍。真空腔體采用高純石英制作,具有便于觀察鍍膜過程,易于清洗的優點;配合分子泵組可達到5x10-4Pa極限真空,能夠有效保證蒸鍍薄膜的純凈度和結合力。儀器體積小巧,經過小型化設計,可有效節約實驗室空間,專為手套箱內使用設計;操作簡單,對不同材料的適應性強,十分適合實驗室選購。

手套箱專用型小型蒸發鍍膜儀技術參數:

產品名稱

手套箱用小型蒸發鍍膜儀

產品型號

CY-EVZ180-I-H-Q

樣品臺

外形尺寸

直徑φ60mm

轉速

≦20rpm

至蒸發源間距

20~55mm 連續可調

蒸發源

有機蒸發源(石英舟和鎢絲發熱源)

蒸發電源

每個蒸發源配一組獨立電源

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ180mm,高度100mm

觀察窗口

直徑φ60mm

腔體材

高純石英

開啟方式

上開啟式

膜厚測量

膜厚測量儀(可選膜厚控制儀)

真空系統

前級泵

雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

次級泵

渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

真空測量

復合真空(電離規+電阻規)

系統真空

5×10-4Pa

控制系統

CYKY自研專業級控制器

其他參數

供電電

AC220V,50Hz

整機尺寸

600mm×600mm×750mm

整機功率

1200W

整機重量

40kg




豫公網安備 41019702002438號

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